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火电高温主蒸汽阀密封面平面度的白光干涉测量研究

摘要火电系统中，高温主蒸汽阀密封面平面度直接决定蒸汽密封性能，其长期处于高温高压蒸汽工况下，易发生热变形与磨损，导致平面度劣化、蒸汽泄漏。白光干涉测量技术凭借非接...

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白光干涉仪，芯片金属凸块及Bump Pattern 3D轮廓...

摘要在先进芯片封装与高密度互连制程不断迭代的背景下，芯片金属凸块及Bump Pattern图形化凸点结构日趋微小化、阵列化与精细化。金属凸块与Bump Patte...

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煤粉/灰渣输送阀密封面平面度的白光干涉测量研究

引言在煤化工、火力发电等工业领域，煤粉/灰渣输送阀是保障物料密闭输送的核心部件，其密封面平面度直接决定密封性能与设备运行稳定性。煤粉、灰渣等介质含硬质颗粒，对密封...

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白光干涉测量在军机液压 / 燃油阀平面度精密检测中的应用

引言军机液压/燃油阀是航空动力与操控系统的核心部件，其密封面平面度精度直接关系飞行安全与装备可靠性。军机服役环境严苛，高频振动、高低温交替及燃油杂质冲蚀，易造成密...

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